检测晶片和计量定位系统 782430:002.26

XYZ轴线性用于无菌室

该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。实现了高动态性和最高的可重复性。一个高分辨率的相机或传感器相对于样品移动，以检查几何形状，进行测量并记录特殊的质量特征。 自动化和低维护的24/7检查 - 是自动检测晶圆、探针卡和印刷电路板的理想选择 - 通过高达720毫米的行程同时检测多个物体 - 是同时整合两个过程的理想选择 - 由于花岗岩结构上的快速系统交换，24/7的低维护率和灵活的维护概念 可选择扩展。 - 用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 用于排气和旋转带盖的连接 - 也可作为单一的门户提供 - 带有预配置控制器的即用型控制系统，包括样品软件。