高精度位移台 HT160 series立式机动适用真空
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
产品规格型号
- 方向定位
- 立式
- 类型
- 机动
- 其他特性
- 高精度, 适用真空, 工业, 用于重载荷, 不锈钢, 带内置步进电动机, 带控制器, 用于晶圆操作, 滚珠丝杠, 交叉滚子
- 运行行程
16 mm
(0.63 in)- 速度
1.1 mm/s
产品介绍
- 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar
- 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar
- 最大。烘烤温度。120°C
- 可作为磁性版本
- 根据ISO 14644-1，洁净室等级为4级
可选择配置。
- 材料选择和真空润滑适合于应用
- 可根据室内的安装情况进行单独配置
- 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。
- 可选择带控制器FMC400/450
用于高负荷的精确升降台
该升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动，如高真空、超高真空。由于它的升降楔形原理，尽管它的总高度很低，但还是达到了它的参数。齿轮马达和精确的滚珠丝杠的组合，可选导螺杆，在相对较高的负载下实现最小的步长。
应用范围
超高真空和极紫外辐射下的工业和研究领域的精密定位，晶圆对准，相机对准，材料研究，材料分析，真空显微镜，光束线，加速器，同步加速器
---
PDF产品目录
该产品还没有PDF产品手册
查看Steinmeyer Mechatronik GmbH的所有产品目录
