重载荷位移台 HT240 series立式机动高精度
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产品规格型号
- 方向定位
- 立式
- 类型
- 机动
- 其他特性
- 高精度, 适用真空, 用于显微镜, 工业, 用于重载荷, 不锈钢, 带内置步进电动机, 带控制器, 用于晶圆操作, 滚珠丝杠, 交叉滚子
- 运行行程
25 mm
(0.984 in)- 速度
1.7 mm/s
产品介绍
- 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar
- 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar
- 最大。烘烤温度。120°C
- 可作为磁性版本
- 洁净室等级为4级，符合ISO 14644-1标准（根据要求可达到1级）。
可选择配置。
- 材料选择和真空润滑适合于应用
- 根据试验室的安装情况进行单独调整
- 可选择使用控制器FMC400/450
用于高负荷的精确升降台，最高可达40公斤
该升降台适用于极端条件下的高精度垂直运动，如高真空、超高真空。由于它的升降楔形原理，尽管它的总高度很低，只有90毫米，但仍能实现其参数。步进电机和精确的滚珠丝杠，可选导螺杆的组合，在相对较高的负载下可以实现最小的步长。
应用范围
超高真空和极紫外辐射下的工业和研究领域的精密定位，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，材料研究，材料分析，检测，真空显微镜，光束线，加速器，同步辐射
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