旋转位移台 DT155

压电高精度紧凑型

- 真空：所有范围的HV，最高可达10E-8 mbar - 润滑液高达10E-8 mbar - 最大。烘烤温度。100°C 可选择配置。 - 有磁性和低磁性版本 - 材料选择和真空润滑适合于应用 - 可根据炉膛内的安装情况进行单独配置 - 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。 - 可选配控制器FMC400/450 高精度和动态成像 这个紧凑而平坦的旋转台在快速过程中可以在真空中实现极高的分辨率。由于79毫米的大透射光，即使是大的样品也可以被精确地定位、测量和分析。它可以被组合成复杂的多轴系统，并且可以通过我们的FMC400/450控制器轻松控制。 应用的领域 高精度和动态显微镜，例如：电子显微镜、离子显微镜、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜、光束线仪器、同步辐射、材料研究、材料分析、晶圆检测、半导体质量控制、半导体研究