适用真空位移台 LT300 series线性机动单轴
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 高精度, 适用真空, 用于显微镜, 用于重载荷, 带内置步进电动机, 带控制器, 用于晶圆操作, 实验室升降台面, 交叉滚子
- 运行行程
50 mm, 100 mm
(1.969 in, 3.937 in)- 速度
5 mm/s
- 重复精度
最少: 0.5 µm
最多: 4 µm
产品介绍
- 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar
- 润滑液体可达10E-8 / 干的可达10E-11 mbar
- 最大。烘烤温度。120°C
- 洁净室等级为4级ISO 14644-1（根据要求可达到1级）。
- 非常长的使用寿命，即使是干运行
可选择配置。
- 可提供压电式断路
- 材料选择和真空润滑适合于应用
- 可根据炉膛内的安装情况进行个别调整
- 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（可按要求达到1级）。
- 可选择带控制器FMC400/450
在纳米范围内的稳定性，甚至是高达10公斤的高负荷
线性平台是为在极端条件下定位高刚性负载而设计的，如在高真空和超高真空下。配备压电式卡钳制动器，该定位系统实现了纳米范围内的稳定性。
应用的领域
超高真空和极端紫外线辐射下的半导体技术，晶圆对准，晶圆检测，相机对准，传感器对准，触点检测，镜面对准，探测，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检测，高精度扫描应用
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