适用真空位移台 MT105 series线性压电线性电机驱动
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 线性电机驱动
- 其他特性
- 高精度, 适用真空, 非磁性, 高速, 用于重载荷, 用于晶圆操作, 定制, 通用
- 运行行程
30 mm, 50 mm, 100 mm
(1.181 in, 1.969 in, 3.937 in)- 速度
5 mm/s, 50 mm/s
产品介绍
- 真空：所有范围HV / UHV / EUV，最高10E-11 mbar
- 润滑液最高可达10E-8 / 干式最高可达10E-11 mbar
- 最大。烘烤温度。120°C
可选择配置。
- 有磁性、低磁性和无磁性版本
- 有多达2个不同的电机用于高负荷的运动
- 不同的电机变体。纳米运动、压电电机或线性电机
- 可与XYZ定位系统结合使用
- 可与旋转台（如DT105）结合用于旋转应用
- 可根据试验室的安装情况进行个别调整
- 适用于洁净室ISO 14644-1的版本（根据要求可达到1级）。
- 可选控制器FMC400/450
灵活和通用，适用于苛刻的环境条件
MT105是一个普遍适用的微型平台，它的高动态和速度给人留下深刻印象。它的设计是为了在极端条件下实现出色的运行和定位精度，如在高真空、超高真空和非磁性应用中。作为选择，该微型平台可以配备两个电机来定位更高的负载。
应用的领域
超高真空和极端紫外线辐射下的半导体技术，晶圆对准，相机对准，传感器对准，触点检查，镜面对准，探测，真空室，研究，光束线仪器，电子组装和检查，高精度扫描应用，微组装
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