适用真空位移台 KDT310 series

XY 轴机动双轴

- Vakuum：所有范围的HV / UHV，最高10E-8 mbar - 润滑液高达10E-8 - 最高烘烤温度。100°C - X方向的孔径为90×90毫米，Y方向为150×150毫米 带孔径的定位系统由两个线性平台组合而成，设计了一个精确和重型的XY平台，用于高真空和超高真空的应用。它的设计理念是采用型材导轨和高精度滚珠丝杠，在优化利用安装空间的同时实现了出色的精度。 它可以很容易地与DT155旋转平台结合，从而获得广泛的应用。 应用的领域 实验室应用的精密定位，显微镜和半导体技术，超高真空和极端紫外线辐射下的研究，样品制备，样品扫描，样品处理，生物芯片，晶圆检测，晶圆校准，相机调整，材料研究，材料分析，光束线，加速器，同步辐射