检测晶片和计量定位系统 KT470-SM

XYZ轴线性用于无菌室

该检测系统由花岗岩结构上的 XY-Stage KT470 和手动 Z 垂直装置组成。这种组合适用于洁净室生产系统/联机流程的灵活模块化设计，并可选择使用旋转或电动 Z 轴进行扩展。 适用于最大 12 英寸（300 毫米）晶圆的灵活检测工艺 可更换工艺头（显微镜、传感器......）的支架 多种扫描范围和手动高度调节（可选择使用运动控制器进行电动调节） 维护成本低，可全天候生产，洁净室等级可达 ISO 6（可根据要求提供更高的等级） 选项 可扩展的移动范围 XY 200 - 350 毫米，Z 200 - 400 毫米 与工艺相适应：孔径、样品架、附加（电动）Z 轴扩展 通过阻尼橡胶中间层或气动阻尼器实现去耦减振 安全理念和技术（紧急停止、门开关、光幕、激光扫描仪、STO、SLS） 带框架、外壳或与工厂集成的定制设计 通过三维设计、原型、批量生产为客户提供定制开发服务