线性位移台 KT106/170

电动单轴精准

KT106/170 XY 样品平台 HV / UV / DUV, ISO 4, 行程 136 x 170 mm, 重复 2.9 µm, 承重 5 kg, 速度 20 mm/s - 无尘室：ISO 4 级以下型号（根据要求可提供更高型号） - 真空：所有 HV 范围，最高 10-7 毫巴 - 润滑：液体，最高 10-7 毫巴 - 最大烘烤温度100°C - 优化的性价比 可选项 - 可与旋转平台（如 DT105）组合使用 - 用于无尘室、实验室或生产的型号 - 通过 3D 设计、原型和批量生产为客户提供定制开发服务 - 可选配 FMC400/450 运动控制器 应用领域 用于半导体技术、微型或纳米制造、质谱仪、光电子能谱仪、实验室应用、显微镜、高真空研究、样品制备、样品扫描、样品处理、晶片检测、材料研究、材料分析的定位装置