线性位移台 PLT240电动单轴精准
添加到我的收藏夹
添加到产品对比表
产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 工业, 用于晶圆操作, 高负载
- 运行行程
最少: 200 mm
(7.874 in)最多: 850 mm
(33.465 in)- 速度
最少: 15 mm/s
最多: 30 mm/s
- 重复精度
最少: 0.4 µm
最多: 0.5 µm
- 载荷
最少: 20 kg
(44.09 lb)最多: 101 kg
(222.67 lb)
产品介绍
PLT240
精密高负载线性平台
HV / UV / DUV，ISO 6，行程 50 - 850 mm，载荷 100 kg，重复精度 0.4 µm，宽度 240
- 无尘室：ISO 6 级以下的型号（根据要求可提供更高型号）
- 真空：所有区域均为高真空，润滑液浓度可达 10-7
- 最大烘烤温度：80°C
选项
- 带干式润滑的导螺杆或带液体润滑的滚珠螺杆
- 无尘室、真空和光束设计
- 氮气环境设计
- 定制开发，包括 3D 设计、原型和批量生产
- 可选配 FMC400/450 控制器
应用领域
半导体制造和处理、高负荷 DUV 定位、扫描应用定位、传送定位、半导体技术、超高真空、真空室、研究、光束线仪器、电子装配和检测
---
PDF产品目录
该产品还没有PDF产品手册
查看Steinmeyer Holding GmbH的所有产品目录
