线性位移台 MDT85-PM压电单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 工业, 用于晶圆操作
- 运行行程
最多: 10 mm
(0.394 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 5 mm/s
最少: 2.5 mm/s
- 重复精度
最多: 0.3 µm
最少: 0.2 µm
- 载荷
最多: 1.5 kg
(3.31 lb)最少: 1.2 kg
(2.65 lb)
产品介绍
MDT85-PM
真空/无尘室线性平台和轴
- 无尘室：最高等级 ISO 6 的变体（可根据要求提供更高等级的变体）
- 真空：所有 HV / UHV 范围
- 光束：UV / DUV / EUV
- 润滑：液态最高 10-8 / 干态最高 10-11 毫巴
- 最大烘烤温度140°C
可选项
- 带或不带开孔（直径 25 毫米）
- 可叠加至紧凑型三轴定位系统
- 磁性：磁性、低磁性、无磁性
- EUV 润滑、无面粉/无 PFAS 超高压润滑
- 定制开发：3D 设计、原型、批量生产
应用领域
在超紫外洁净室中进行小尺寸定位，如相机、显微镜/传感器（AFM、WLI）、透射测量、显微镜定位、安装节省空间的 XYZ 多轴系统、用于工业和研究的机械手、紧凑型洁净室定位系统、半导体对准、光束检测
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