线性位移台 MT130

电动单轴精准

MT130 超紫外微型线性平台 155 x 130 x 43 mm，UHV / DUV / EUV，ISO 5，行程达 50 mm，重复精度 2.3 µm，负载 9 kg，速度 40 mm/s - 无尘室：ISO 5 级以下的型号（根据要求可提供更高型号） - 真空：所有 HV / UHV 范围 - 光束：EUV、DUV、UV - 润滑液体最高 10-8 / 干燥最高 10-11 毫巴 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 可堆叠形成紧凑型三轴定位系统：MP130-3 - 可与 DT130 旋转平台组合使用 - 行程范围达 80 毫米 - 高分辨率测量系统 - EUV 润滑，不含面粉/PFAS 的 UHV 润滑 - 通过 3D 设计、原型和批量生产进行定制开发 带内置电机的紧凑型 EUV 线性轴 微型线性平台采用无间隙交叉滚子轴承，实现了非常好的运行值。驱动装置集成在高度紧凑的定位系统中。定位系统还配备了永磁制动器。 应用领域 超紫外洁净室中的小尺寸定位，如相机、显微镜/传感器（AFM、WLI），构建节省空间的 XYZ 多轴系统，工业和研究用对准器，紧凑型洁净室定位系统，晶片检测，晶片探针对准