线性位移台 LA85

电动单轴精准

聚焦线性平台 HV / DUV，无尘室 ISO 6，行程 25 - 50 mm，重复 1.6 µm，速度 60 mm/s，负载 4 kg - 真空：所有 HV 范围，最高 10-8 毫巴 - 洁净室：ISO 6 级以下的各种型号（根据要求可提供更高型号） - 润滑液：最高 10-8 毫巴 - 最大烘烤温度100°C 可选配置： - 可选配线性刻度，重复精度可达 0.3 µm，以及位置反馈 和监控 - 镀镍铝质部件，可满足医疗技术和制药行业更高的卫生要求 镀镍铝质部件，以满足医疗技术和制药行业更高的卫生要求 - 用于洁净室、真空、制药或食品工业的特殊润滑装置 - 通过 3D 设计、原型和批量生产实现定制开发 - 水平和垂直应用易于集成 结构紧凑、坚固耐用的直线运动平台易于集成，适用于洁净室、真空和高真空环境中要求低排放的应用。它的性价比极高，经测试具有极高的耐用性。坚固耐用、非常稳定的底座结构，磨削后平整度极高，具有出色的超程值和巨大的刚度，可实现最大分辨率。此外，它还配备了一个结构紧凑的非接触式 PCB 开关，用于末端位置，排气量为 10E-8mBar。 此外，还可根据无尘室条件的提高以及生物技术、医疗技术、食品工业和制药技术的需要进行个性化的特殊配置。