线性位移台 2LA95-LA105电动3轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 3轴
- 其他特性
- 精准, 工业, 用于晶圆操作
- 运行行程
最多: 7 mm
(0.276 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 3.6 mm/s
最少: 1 mm/s
- 重复精度
最多: 1 µm
最少: 0.4 µm
- 载荷
最多: 2.9 kg
(6.39 lb)最少: 1.9 kg
(4.19 lb)
产品介绍
2LA95-LA105
超高压 XYZ 系统
三坐标机械手，行程为 5 x 20 x 10 mm，负载可达 2 kg。干式运行、压电制动器、导螺杆、步进电机。包括用于反馈实际位置的测量系统。它是实验室条件下光学应用的理想选择，真空度最高可达 10E-9 mbar。
技术数据
标准系统 - LA95 LA95 LA105
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行程 - [mm] 10 5 20
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定位速度 - [mm/s] 25 10 25
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最大速度速度 - [mm/s] 50 20 50
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重量 - [kg] 7
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