线性位移台 LA97-MT85压电双轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 精准, 工业, 用于晶圆操作
- 运行行程
最多: 200 mm
(7.874 in)最少: 20 mm
(0.787 in)- 速度
最多: 10 mm/s
最少: 5 mm/s
- 重复精度
最多: 30 µm
(0.00118 in)最少: 0.02 µm
- 载荷
最多: 20 kg
(44.09 lb)最少: 2 kg
(4.41 lb)
产品介绍
精确垂直LA97-MT85
应用：多用途机械手
优势： 用于高分辨率扫描
特点：高分辨率定位高分辨率定位
- 真空：所有压力范围 HV / UHV 高达 10-11
- 磁性：磁性
- 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 毫巴
- 最大烘烤温度：80°C
选项
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据炉室安装情况进行个性化调整
- 可选配 FMC400/450 控制单元
- 技术数据
- 移动范围：20 毫米 - 200 毫米
- 重复精度
± 0.02 µm（单向）
± 0.03 µm（双向）
- 载荷： → 200 N / ↑ 20 N
- 最大速度： 10 毫米/秒
- 电机压电电机
- 导轨不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选陶瓷轴承
- 反馈：直线测量系统线性测量系统
- 分辨率测量系统： 0.001 微米 - 0.1 微米
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