XYZ轴位移台 MP53

压电3轴交叉滚子

快速、精确的微定位器 HV / UHV / EUV，行程 20 - 50 mm，重复精度 0.2 µm，负载 1 kg - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV - 液体润滑最高 10-8 毫巴/干式润滑最高 10-11 毫巴 - 最大烘烤温度120°C 可选配置： - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 不同的电机变体：压电电机或纳米电机 - 可选配高分辨率测量系统，重复精度可达 0.005 µm - 可与旋转台组合用于旋转应用 - 可根据室内安装情况进行单独调整 - 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（可根据要求达到 1 级） - 可选配控制器 FMC400/450 用于高精度或动态应用的微型 XYZ 机械手 该机械手是一种高动态三轴系统，可在非常有限的安装空间内实现 X、Y 和 Z 轴运动。行程可达 50 毫米。机械手配备了压电电机，因此可实现几纳米的定位增量，适用于高真空和超高真空环境下的高精度应用。该机械手还可选配纳米运动装置，特别适用于高动态和高精度定位。 应用领域 在实验室应用、显微镜和半导体技术、超高真空和极端紫外线辐射条件下的研究、样品制备、样品扫描、样品处理、相机调节、传感器调节、材料研究、材料分析、光束线、加速器、同步加速器、微型化等极小空间内的精确定位