旋转位移台 DT230

机动单轴用于显微镜

高分辨率、稳定的孔径旋转平台 UHV、DUV / EUV，无尘室 ISO 6，n x 360°，重复 0.0002°，速度 180°/s，负载 15 kg - 无尘室：可达 ISO 6 级（根据要求可达到更高）。 - 光束：UV、DUV、EUV（X 射线、伽马射线可根据要求提供） - 真空：所有范围的 HV / UHV，最高 10-11 毫巴 - 润滑：液态最高 10-8 毫巴/干态最高 10-11 毫巴 - 最大烘烤温度120°C 选购件 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 根据应用选择材料和润滑剂 - 用于洁净室、实验室或生产的型号 - 可选配 FMC400/450 控制器或 PLC 连接 - 通过 3D 设计、原型和批量生产为客户提供定制开发服务 应用领域 高分辨率、出色稳定的检测/显微镜，例如原子力显微镜、电子显微镜、离子显微镜、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜、半导体技术中的透射光测量、晶片检测、实验室显微镜、成像系统、样品分析、光束线仪器、同步加速器、材料研究、材料分析