旋转位移台 DT155

压电单轴紧凑型

带大孔径的高分辨率旋转平台 UHV、DUV/EUV，无尘室 ISO 6，n x 360°，重复 0.0003°，速度 300°/s，负载 5 千克 - 无尘室：ISO 6 级以下的型号（根据要求可提供更高型号） - 真空：所有 HV / UHV 范围，最高 10-11 毫巴 - 润滑：液态最高 10-8 毫巴/干态最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度100°C 可选配置： - 可提供磁性和低磁性型号（根据要求可提供无磁性型号） - 根据应用选择材料和润滑剂 - 可选配控制器 FMC400/450 - 通过 3D 设计、原型和批量生产进行定制开发 高精度动态成像 该旋转平台结构紧凑、平面度高，可在真空环境下快速实现极高分辨率。由于具有 79 毫米/3 英寸的大透光率，即使是大型样品也能精确定位、测量和分析。它可以组合成复杂的多轴系统，并可通过我们的 FMC 400/450 控制器轻松控制。 应用领域 高精度动态显微镜，如电子显微镜、离子显微镜、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜、光束线仪器、同步加速器、材料研究、材料分析、晶片检测、半导体质量控制、半导体研究