旋转位移台 DT105

压电双轴闭环

带孔径的高分辨率旋转平台 HV / UHV、DUV、无尘室 ISO 6、n x 360°、重复精度 0.0005°、负载 3 千克、速度 270°/s - 无尘室：ISO 6 级以下型号（根据要求可提供更高型号） - 真空：所有 HV / UHV 范围，最高 10-11 毫巴 - 液体润滑，最高 10-8 毫巴/特殊配置干式润滑，最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度100°C 可选配置： - 提供磁性和低磁性型号（特殊配置为无磁性 可选配置） - 根据应用选择材料和润滑剂 - 可选配控制器 FMC400/450 - 通过 3D 设计、原型和批量生产进行定制开发 在有限的安装空间内实现高分辨率成像 这种结构紧凑的平面旋转平台可在真空条件下的快速过程中实现极高分辨率。36 毫米的透射光可对小型样品进行精确定位、测量和分析。它可以组合到要求苛刻的多轴系统中，并由我们的 FMC 400/450 控制器轻松控制。 应用领域 高精度动态显微镜，如原子力显微镜、电子显微镜、离子显微镜、扫描电子显微镜、扫描隧道显微镜、实验室显微镜、成像系统、样品分析、光束线仪器、同步加速器、材料研究、材料分析