HV / UHV、DUV、ISO 6 级无尘室、无限位移、重复角度达 0.003°、速度达 540°/s、负载达 1 公斤
- 无尘室:ISO 6 级以下的各种型号(可根据要求提供更高型号)
- 真空:所有 HV / UHV 范围,最高 10-11 毫巴
- 润滑:液态最高 10-8 毫巴/干态最高 10-11 毫巴
- 最高烘烤温度100°C
可选配置:
- 磁性和低磁性可选
- 根据应用选择材料和润滑剂
- 可选配控制器 FMC400/450
- 通过 3D 设计、原型和批量生产进行定制开发
小型、高动态旋转平台
产品系列中最小的真空旋转平台以其高动态和高速度给人留下深刻印象。DT65 采用真空和低磁设计,非常适合在苛刻的环境中应用。因此,它尤其适用于研发和实验物理领域。它可以组合成要求苛刻的多轴系统,并可通过我们的 FMC 400/450 控制器轻松控制。
应用领域
研发、多轴系统设置、光束线仪器、同步加速器、材料研究、材料分析、晶片检测、半导体质量控制、半导体研究
---