线性位移台 MT53压电单轴交叉滚子
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 工业, 小型, 用于晶圆操作, 交叉滚子
- 运行行程
最少: 1 mm
(0.039 in)最多: 10 mm
(0.394 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最多: 10 mm/s
- 重复精度
最少: 0.2 µm
最多: 5 µm
- 载荷
最少: 0.5 kg
(1.1 lb)最多: 0.9 kg
(1.98 lb)
产品介绍
MT53
高分辨率微型平台：
Steinmeyer Mechatronik 产品系列中最小的平台，具有极高的分辨率。由于其微型化设计，它非常适合空间有限且要求高标准的应用场合。
通过压电电机实现最佳步长：
MT53 配备了交叉滚子轴承和压电电机，可实现纳米级的步进。在真空和非磁性版本中，该微型平台完全适用于苛刻的环境。
是微加工和微组装的理想之选：
MT53 可用于要求苛刻的微加工和微组装应用。它也可以理想地用于研发应用或半导体行业。
技术数据
- 行程：10 毫米
- 单向重复性：± 0.2 微米
- 双向重复性： ± 0.3 µm
- 精度： ± 0.8 微米
- 定位速度： 5 毫米/秒
- 最大加速度： 1 m/s2 0.1 m/s2
- 最大负载负载 Fx： 5 N
- 最大载荷载荷 Fy： 8.8 N
- 最大载荷载荷 Fz： 8.8 N
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