线性位移台 MT63机动单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 机动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 工业, 小型, 用于晶圆操作
- 运行行程
最多: 25 mm
(0.984 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 3.6 mm/s
最少: 1 mm/s
- 重复精度
最多: 5 µm
最少: 0.8 µm
- 载荷
最多: 1.1 kg
(2.43 lb)最少: 1 kg
(2.2 lb)
产品介绍
MT63
高精度微型平台
这款微型平台外形紧凑，内部装有电机，特别适合空间狭小的应用场合。MT63 不仅具有高分辨率、直线度和平面度值，同时还具有极具吸引力的性价比。
易于组合：
MT63 可配备步进电机或直流电机，并可通过我们创新的 FMC 系列控制器轻松控制。该微型平台可组合成两轴或三轴系统。
适用于微型加工和微型装配：
MT63 的典型应用领域是微加工和微装配以及研发。
技术数据：
- 行程：25 毫米
- 单向重复性： ± 0.8 µm
- 双向重复性： ± 3.8 µm
- 精度： ± 6 µm
- 定位速度： 1.8 毫米/秒
- 最大加速度 0.04 m/s2
- 最大负载 Fx： 10 N
- 最大载荷 Fx： 10 N载荷 Fy：11 N
- 最大载荷载荷 Fz： 11 N
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