线性位移台 MT130

电动单轴交叉滚子

MT130 带内置电机的紧凑型线性平台 微型直线运动平台采用滚柱轴承，具有极佳的直线度和平面度。驱动装置完全安装在高度紧凑的定位系统中。 - 在较小的安装空间（130 x 130 x 43 mm）内，行程可达 80 mm - 重复精度高达 2.3 µm - 可轻松叠加到紧凑型多轴系统中 选项 - 可配备直流电机或步进电机 - 三轴紧凑型装置：MP130-3 - 可与 DT130 旋转平台组合使用 - 不锈钢选件，可提高刚性 - 适用于无尘室、真空和 EUV 的型号 应用领域 在狭小空间内定位，如相机、显微镜（AFM、WLI）、最小空间 XYZ 多轴系统设置、工业和研究用机械手、紧凑型无尘室定位系统、晶圆检测、晶圆检测机校准 技术数据： - 行程：50 毫米、80 毫米 - 单向重复性：± 2.3 µm - 双向重复性：± 4.3 µm - 精度： ± 8.1 微米、± 9.7 微米 - 定位速度： 20 毫米/秒 - 最大加速度 0.4 m/s2 - 最大负载 Fx负载 Fx：45 N - 最大载荷载荷 Fy：95 N - 最大载荷载荷 Fz： 95 N