XYZ轴定位系统 3-Achs-Strahljustage

线性压电

3 通道调节 超高压 XYZ 系统 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点： - 在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点出色的分辨率、超薄机身、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - 根据炉室安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 - 可选配运动控制器 FMC400/450 技术数据： - 行程： 5 毫米、10 毫米 - 重复精度： - ± 0.2 微米（单向） ± 0.3 µm（双向） - 载荷： → 5 N / ↑ 8.8 N - 最大速度： 10 毫米/秒 - 电机压电电机 - 轴承： 不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选全陶瓷轴承 - 反馈：线性刻度线性刻度 - 反馈分辨率：0.1 微米，可选最高 0.005 微米