线性位移台 HT240电动单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 适用真空, 用于晶圆操作, 开环, 交叉滚子
- 运行行程
最多: 25 mm
(0.984 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 3.4 mm/s
最少: 1 mm/s
- 重复精度
最多: 5 µm
最少: 0.3 µm
- 载荷
最多: 44 kg
(97 lb)最少: 0.5 kg
(1.1 lb)
产品介绍
HT240
精密高负载垂直升降平台
应用：真空升降台真空升降台
优点：高刚性、高负载
特点：带滚珠丝杠主轴的楔形
- 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10-11 毫巴
- 液体润滑高达 10-8 / 干式润滑高达 10-11 毫巴
- 磁性：磁性
- 最大烘烤温度120°C
可选项
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据炉室内的安装情况进行个性化调整
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程： - 25 毫米
- 重复性
± 1.7 µm，± 0.3 µm（单向）
± 2.7 µm，± 0.5 µm（双向）
- 载荷： → 440N / ↑ 410N
- 最大速度： 3.4 mm/s
- 电机压电电机
- 轴承不锈钢交叉滚子混合轴承
- 反馈：线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率： 1 µm1 微米
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