线性位移台 HT160电动单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 工业, 适用真空, 用于晶圆操作, 开环, 交叉滚子
- 运行行程
最多: 16 mm
(0.63 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 2.2 mm/s
最少: 1 mm/s
- 重复精度
最多: 5 µm
最少: 1 µm
- 载荷
最多: 5 kg
(11.02 lb)最少: 4.5 kg
(9.92 lb)
产品介绍
HT160
精密高负载垂直升降台
应用：真空升降台
优点：高刚性、高负载
特点：带滚珠丝杠主轴的楔形
- 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 mbar
- 液体润滑高达 10E-8 / 干式润滑高达 10E-11 mbar
- 可提供磁性型号
- 最大烘烤温度120°C
选项
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据室内安装情况进行个性化调整
- 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达到 1 级）
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据：
- 行程： 16 毫米
- 重复性： -
± 1 微米，± 1.7 微米（单向）
± 1.7 µm，± 2 µm（双向）
- 载荷： → 50 N / ↑ 45 N
- 最大速度： 2.2 mm/s
- 电机步进电机
- 轴承： 不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承
- 反馈：开环开环，线性刻度
- 反馈分辨率：无或线性
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