线性位移台 KDT300电动双轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 双轴
- 其他特性
- 精准, 紧凑型, 铝制, 工业, 用于显微镜, 适用真空, 用于重载荷, 用于晶圆操作, 开环, 交叉滚子
- 运行行程
最少: 1 mm
(0.039 in)最多: 100 mm
(3.937 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最多: 10 mm/s
- 重复精度
最少: 0.4 µm
最多: 5 µm
- 载荷
最少: 4.4 kg
(9.7 lb)最多: 12 kg
(26.46 lb)
产品介绍
KDT300
稳定的高负载 xy 平台
应用：传送平台，高负载扫描平台
优点：- 尽管使用干润滑油，但使用寿命长
特点：尽管使用干润滑油，但使用寿命长
- 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11
- 润滑液：最高 10E-11
- 孔径：80 x 80 毫米
- 最大烘烤温度：120°C
可选项
- 带或不带测量系统
- 可选配控制器 FMC400/450
- 行程达 80 毫米，载荷达 10 公斤
- 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置，以获得更高的速度
- 可与旋转工作台（如 DT155）组合，用于旋转应用
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据室内安装情况进行个性化调整
- 设计用于 ISO 14644-1 洁净室（根据要求可达到 1 级）
技术数据：
- 行程： 10 毫米、50 毫米、10 毫米
- 重复性
- ± 2.8 µm、± 0.7 µm、± 0.4 µm、± 2.8 µm（单向）
± 0.5 微米，± 4 微米（双向
- 载荷： → 44 N / ↑ 120 N
- 最大速度： 10 毫米/秒
- 电机步进电机
- 轴承：不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承
- 反馈：开环开环，线性刻度
- 反馈分辨率 0.1 µm
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