线性位移台 KDT300

电动双轴精准

KDT300 稳定的高负载 xy 平台 应用：传送平台，高负载扫描平台 优点：- 尽管使用干润滑油，但使用寿命长 特点：尽管使用干润滑油，但使用寿命长 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 - 润滑液：最高 10E-11 - 孔径：80 x 80 毫米 - 最大烘烤温度：120°C 可选项 - 带或不带测量系统 - 可选配控制器 FMC400/450 - 行程达 80 毫米，载荷达 10 公斤 - 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置，以获得更高的速度 - 可与旋转工作台（如 DT155）组合，用于旋转应用 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - 设计用于 ISO 14644-1 洁净室（根据要求可达到 1 级） 技术数据： - 行程： 10 毫米、50 毫米、10 毫米 - 重复性 - ± 2.8 µm、± 0.7 µm、± 0.4 µm、± 2.8 µm（单向） ± 0.5 微米，± 4 微米（双向 - 载荷： → 44 N / ↑ 120 N - 最大速度： 10 毫米/秒 - 电机步进电机 - 轴承：不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承 - 反馈：开环开环，线性刻度 - 反馈分辨率 0.1 µm