线性位移台 KT105

压电双轴精准

KT105-50 高分辨率 XY 平台 应用：真空 XY 平台 优点： 快速、高分辨率 特点：偏航和俯仰参数比带孔径的型号高三倍 - 真空：所有 HV / UHV 区域，最高 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10-8 / 干态最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项 - 有孔和无孔 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 不同的电机类型：纳米电机或压电电机 - 可与 XYZ 定位系统（如 MT105）组合使用 - 可与旋转平台（如 DT105）组合，用于旋转应用 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - 行程： 50 毫米 - 重复精度 ± 0.3 µm，± 0.5 µm（单向） ± 0.4 µm，± 0.7 µm（双向 - 载荷： → 5 N, 4 N / ↑ 45 N - 最大速度： 10/50 毫米/秒 - 电机压电电机 / Nanomotion - 轴承：不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选全陶瓷轴承 - 反馈：线性刻度线性刻度 - 反馈分辨率 0.001 微米 - 0.1 微米