线性位移台 MT105压电单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 工业, 小型, 适用真空, 用于晶圆操作, 交叉滚子
- 运行行程
最少: 1 mm
(0.039 in)最多: 100 mm
(3.937 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最多: 100 mm/s
- 重复精度
最少: 0.2 µm
最多: 5 µm
- 载荷
最少: 0.4 kg
(0.88 lb)最多: 5.5 kg
(12.13 lb)
产品介绍
MT105
应用：多功能微型平台
优点：用于高分辨率扫描
特点：高分辨率定位
- 真空：所有压力范围 HV /UHV 低至 10E-11mbar
- 润滑：液体润滑低至 10E-8mbar / 干润滑低至 10E-11mbar
- 磁性：磁性/低磁性/无磁性
- 最高烘烤温度120°C
可选项：
- 提供磁性、低磁性和无磁性版本
- 最多可配备 2 个不同的电机，用于高负载运动
- 可与 XYZ 定位系统组合使用
- 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（可根据要求达到 1 级）
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程： 100 毫米
- 重复精度
± 0.4 µm（单向）
± 0.5 µm（双向）
- 载荷： → 4 N / ↑ 55 N
- 最大速度： 100 毫米/秒
- 电机压电电机
- 轴承：交叉滚子轴承
- 反馈：线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率 0.005 微米 - 1 微米
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