线性位移台 MT53压电单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 小型, 工业, 适用真空, 用于晶圆操作, 交叉滚子
- 运行行程
最多: 10 mm
(0.394 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 10 mm/s
最少: 0.2 mm/s
- 重复精度
最多: 5 µm
最少: 0.2 µm
- 载荷
最多: 0.9 kg
(1.98 lb)最少: 0.5 kg
(1.1 lb)
产品介绍
MT53
高分辨率微型平台
应用：多用途微型平台
优点：用于高分辨率扫描
特点：高分辨率定位
- 真空：所有压力范围 HV /UHV 低至 10E-11 毫巴
- 润滑：液体润滑低至 10E-8mbar / 干润滑低至 10E-11mbar
- 磁性：磁性
- 最高烘烤温度120°C
可选项：
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据箱体内的安装情况进行个性化调整
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程： 10 毫米
- 重复性
± 0.2 µm（单向）
± 0.3 µm（双向）
- 载荷： → 5 N / ↑ 8.8 N
- 最大速度： 0.2 毫米/秒
- 电机压电电机
- 轴承：交叉滚子轴承
- 反馈：线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率： ± 0.1µm
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