线性位移台 LA95电动单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 适用真空, 用于晶圆操作, 开环, 交叉滚子
- 运行行程
最少: 1 mm
(0.039 in)最多: 185 mm
(7.283 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最多: 8.4 mm/s
- 重复精度
最少: 0.4 µm
最多: 5 µm
- 载荷
最少: 0.1 kg
(0.22 lb)最多: 4.5 kg
(9.92 lb)
产品介绍
LA95
- 应用：传送阶段、扫描阶段
- 优点：干式润滑，使用寿命长
- 特点： 使用干润滑油的导螺杆或
带液体润滑油的滚珠丝杠
- 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-9 mbar
- 磁性：磁性
- 润滑：低至 10E-8 的液体润滑/低至 10E-11 毫巴的干润滑
- 最高烘烤温度120°C
技术数据
- 行程：40 毫米、80 毫米、185 毫米
- 重复精度
± 1.9 微米，± 0.4 微米（单向）
± 2.9 µm，± 0.5 µm（双向）
- 载荷： → 45 N / ↑ 40 N
- 最大速度： 8.4 毫米/秒
- 电机步进电机
- 轴承： 不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选陶瓷轴承
- 反馈：线性刻度，开环线性刻度，开环
- 反馈分辨率 0.001 µm - 0.1 µm
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