线性位移台 LA97压电单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 压电
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 工业, 适用真空, 无摩擦导向, 用于晶圆操作, 交叉滚子
- 运行行程
最多: 300 mm
(11.811 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 10 mm/s
最少: 1 mm/s
- 重复精度
最多: 5 µm
最少: 0.015 µm
- 载荷
最多: 9.8 kg
(21.61 lb)最少: 1.9 kg
(4.19 lb)
产品介绍
LA97
纳米线性平台
应用：扫描
优点：纳米定位，也可垂直定位
特点： 定位分辨率极高，刚性最强，可配备 2 个（或 4 个）电机
- 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-11 mbar
- 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性
- 润滑：低至 10E-8 的液体润滑 / 低至 10E-11 毫巴的干润滑
- 最高烘烤温度120°C
选购件
- 提供磁性、低磁性和无磁性型号
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据室内安装情况进行个性化调整
- 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（可根据要求达到 1 级）
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程：100 毫米 - 300 毫米
- 重复精度
± 0.015 µm（单向）
± 0.02 µm（双向）
- 载荷： → 98 N / ↑ 58 N
- 最大速度： 10 毫米/秒
- 电机压电电机
- 轴承： 不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选全陶瓷轴承
- 反馈：线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率： ± 0.1 µm
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