LT300
高负载精密线性平台
应用:运输平台、高负载扫描平台
优点:干式润滑,使用寿命长
特点:带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆,具有 nm 级稳定性
- 真空:所有范围的 HV / UHV / EUV,最高可达 10E-11 mbar
- 磁性:磁性
- 润滑:液体润滑,最高 10E-8 / 干式润滑,最高 10E-11 毫巴
- 最高烘烤温度120°C
可选项
- 可提供压电断路
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据腔体内的安装情况进行个性化调整
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程: 50 毫米 - 100 毫米
- 重复精度
± 2.4 µm,± 0,4 µm(单向)
± 1.9 µm(双向)
- 载荷: → 44 N / ↑ 120 N
- 最大速度: 10 毫米/秒
- 电机:步进电机步进电机
- 轴承: 不锈钢交叉滚子轴承,混合轴承
- 反馈:线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率: ± 0.1 µm
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