线性位移台 LT300
电动单轴精准

线性位移台 - LT300 - Steinmeyer Holding GmbH - 电动 / 单轴 / 精准
线性位移台 - LT300 - Steinmeyer Holding GmbH - 电动 / 单轴 / 精准
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产品规格型号

方向定位
线性
类型
电动
轴数量
单轴
其他特性
精准, 铝制, 工业, 适用真空, 高负载, 用于晶圆操作, 滚珠丝杠, 交叉滚子, 丝杠
运行行程

最多: 100 mm
(3.937 in)

最少: 1 mm
(0.039 in)

速度

最多: 10 mm/s

最少: 1 mm/s

重复精度

最多: 5 µm

最少: 0.4 µm

载荷

最多: 12 kg
(26.46 lb)

最少: 4.4 kg
(9.7 lb)

产品介绍

LT300 高负载精密线性平台 应用:运输平台、高负载扫描平台 优点:干式润滑,使用寿命长 特点:带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆,具有 nm 级稳定性 - 真空:所有范围的 HV / UHV / EUV,最高可达 10E-11 mbar - 磁性:磁性 - 润滑:液体润滑,最高 10E-8 / 干式润滑,最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 可提供压电断路 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据腔体内的安装情况进行个性化调整 - 可选配控制器 FMC400/450 技术数据 - 行程: 50 毫米 - 100 毫米 - 重复精度 ± 2.4 µm,± 0,4 µm(单向) ± 1.9 µm(双向) - 载荷: → 44 N / ↑ 120 N - 最大速度: 10 毫米/秒 - 电机:步进电机步进电机 - 轴承: 不锈钢交叉滚子轴承,混合轴承 - 反馈:线性刻度线性刻度 - 反馈分辨率: ± 0.1 µm

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PDF产品目录

* 显示价格为参考价,此价格不含税、不含运费、不含关税,也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。