LA170
精密高负载 XYZ 线性轴
应用:运输平台、高负载扫描平台
优点: 使用干润滑油,使用寿命长
特点:带干润滑油的导螺杆或带液体润滑油的滚珠螺杆
- 真空:所有 HV / UHV / EUV 范围,最高 10E-11 mbar
- 磁性:磁性
- 润滑:液体润滑,最高 10E-8 / 干式润滑,最高 10E-11 毫巴
- 最高烘烤温度120°C
可选项
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 根据室内安装情况进行个性化调整
- 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号(根据要求可达到 1 级)
- 可选配控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程: 60 毫米 - 130 毫米
- 重复精度
± 2.8 µm,± 0,4 µm(单向)
± 4 µm,± 0,5 µm(双向)
- 载荷: → 196 N / ↑ 196 N
- 最大速度: 10 mm/s
- 电机步进电机
- 轴承: 不锈钢交叉滚子轴承,混合轴承
- 反馈:线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率: ± 0.1 µm
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