线性位移台 LA80电动单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 电动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 工业, 适用真空, 高速, 长冲程, 用于晶圆操作
- 运行行程
最多: 500 mm
(19.685 in)最少: 1 mm
(0.039 in)- 速度
最多: 100 mm/s
最少: 1 mm/s
- 重复精度
最多: 5 µm
最少: 0.3 µm
- 载荷
最多: 4.9 kg
(10.8 lb)最少: 0.9 kg
(1.98 lb)
产品介绍
LA80
高速 UHV 线性轴
应用：快速运输平台
优点：干式润滑，使用寿命长
特点：干润滑滚珠丝杠驱动
- 真空：所有范围的 HV / UHV / EUV，最高可达 10E-11 mbar
- 磁性：磁性
- 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴
- 最高烘烤温度120°C
可选项
- 可选择带或不带测量系统
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 可与快速 XYZ 传输系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用
- 根据室内安装情况进行个性化调整
- 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号（根据要求可达到 1 级）
- 可选配运动控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程：200 毫米 - 500 毫米
- 重复精度
±3微米，±0.3微米（单向）
±4微米，±0.5微米（双向）
- 载荷： → 49 N / ↑ 9 N
- 最大速度： 100 毫米/秒
- 电机：步进电机步进电机
- 轴承不锈钢混合循环滚珠导轨
- 反馈开环，线性刻度
- 反馈分辨率：± 0.5 µm
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