线性位移台 LA92线性电机驱动单轴精准
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 类型
- 线性电机驱动
- 轴数量
- 单轴
- 其他特性
- 精准, 铝制, 用于显微镜, 工业, 适用真空, 自动, 用于晶圆操作, 交叉滚子
- 运行行程
最少: 1 mm
(0.039 in)最多: 40 mm
(1.575 in)- 速度
最少: 1 mm/s
最多: 200 mm/s
- 重复精度
最少: 0.3 µm
最多: 5 µm
- 载荷
最少: 0.9 kg
(1.98 lb)最多: 1.9 kg
(4.19 lb)
产品介绍
LA92
高速 UHV 线性轴
应用：高分辨率和快速扫描应用
优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位
特点高分辨率、超薄、内置电机
- 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar
- 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性
- 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar
- 最高烘烤温度： 120°C120°C
可选项：
- 根据应用选择材料和真空润滑
- 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用
- 根据炉室安装情况进行个性化调整
- 可选配运动控制器 FMC400/450
技术数据
- 行程： 40 毫米
- 重复精度
± 0.3 µm（单向）
± 0.4 µm（双向
- 载荷： → 19 N / ↑ 9 N
- 最大速度： 200 毫米/秒
- 电机纳米运动
- 轴承：不锈钢交叉滚子轴承，混合轴承，可选全陶瓷轴承
- 反馈：线性刻度线性刻度
- 反馈分辨率 0.005 微米 - 0.1 微米
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