XYZ轴定位系统 782327:001.26三轴线性用于检测晶片和计量
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产品规格型号
- 轴数量
- XYZ轴, 三轴
- 构造
- 线性
- 应用
- 用于检测晶片和计量, 用于样本制备, 质量控制
- 其他特性
- 紧凑型, 精准, 直流电动机
- 重复精度
最多: 3.8 µm
最少: 0.8 µm
- 载荷
1 kg
(2.2 lb)- 运行行程
最多: 25 mm
(0.98 in)最少: 25 mm
(0.98 in)- 传送速度
最多: 3.6 mm/s
最少: 1.8 mm/s
产品介绍
MP210-3 XYZ 定位系统
可定制：
- 适用于有限的安装空间和 0 - 40°C 的温度波动范围
- 在最小空间内移动范围可达 25 毫米
- 位置绝对稳定，即使在电机关闭时也是如此
- 高重复精度带来稳定的测量结果
该 XYZ 系统可以定位样品支架，进行高度稳定的双面入射光和透射光测量。通过 25 毫米行程的垂直移动实现装载和聚焦。
规格
- 标准系统：MT63（XYZ）
- 行程：25 毫米
- 重复性：± 0.8 - ± 3.8 µm (XYZ)
- 定位速度：1.8 - 3.6 毫米/秒（XYZ）
- 最大负载： 10 N10 N
- 电机直流电机，导螺杆
- 反馈： 线性刻度线性刻度
- 长 x 宽 x 高： 206 x 259 x 137 毫米
定制选项：
- 与工艺相适应：取样器、支架、进料器、传感器
- 无尘室 ISO 14644-1 配置（可根据要求达到 1 级）
- 带机架、隔振装置和外壳的个性化设计
- 利用 3D 设计为定位任务开发个性化解决方案
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