多轴定位系统 782300:056.26

5-7 轴自动半导体工业

MP53-2-1 微型 XY-Phi 定位系统 带压电电机的 Phi-XY 系统 用于 xy 移动和旋转的小型机械手。线性行程为 10 毫米，旋转角度为 ± 5 度。通过压电驱动，在 nm 范围内具有极高的分辨率。旋转由一个线性平台通过弹性联轴器作用于一个旋转轴承实现。 用于校准部件的固定接头 三轴系统用于对准零件和样品。由于只需几毫米或几度的微小路径就足以实现这种校正运动，因此，如果线性平台通过固态接头将其运动传递给原本被动的旋转平台，就可以产生旋转运动。这种固态连接的优点是可以将线性平台的精度完全转移到旋转平台上。如果挠度保持在 5 度以下，这种接头的刚度也足以在纳米范围内传递拉伸和压缩方向的运动。 规格 - 标准系统：MT53-PM (XYRz) - 行程：10 毫米 - 重复精度： ± 0.4 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - 定位速度： 5 - 10 mm/s (XY) / 5 - 20 mm/s (Rz) - 最大负载5 N - 电机压电电机，交叉滚子轴承 - 反馈：线性刻度线性刻度 - 长 x 宽 x 高： 121 x 85 x 76 毫米