XYZ轴定位系统 782327:003.24

自动用于检测晶片和计量用于显微镜检查

MP63-3 微型 XYZ 定位系统，笛卡尔式 可定制： - 极高的分辨率 - 适用于有限的建筑空间 - 负载能力高达 10 N - 通过细螺纹主轴实现更精细的应用调整 - 使用寿命长，通过仿形导轨轴承实现特别精确的运动 这种微型 X-Y-Z 系统非常适合空间有限的定位应用。与细螺纹主轴相结合，XYZ Stage 可实现极高的分辨率值。同时，这种高精度定位系统还具有极高的性价比。 规格 - 标准组件：MT63-DC - 行程：25 毫米 - 重复精度： ± 0.8 - ± 3.8 µm (XYZ) - 定位速度：1.8 - 3.6 mm/s (XY) / 0.9 - 1.8 mm/s (Z) - 最大负载10 N - 电机直流电机，型材导轨 - 反馈：电机编码器 - 标准组件：MT63-SM - 行程： 25 毫米 - 重复精度： ± 1 - ± 4 µm (XYZ) - 定位速度： 1.3 - 2.6 毫米/秒（XYZ） - 最大负载： 10 N10 N - 电机步进电机，型材导轨