3轴定位系统 782476:001.26

卧式旋转自动

MP410-3 高真空校准器，最高 10E-6 毫巴 可定制： - 在高达 10-6 毫巴的真空中进行转移测量的理想之选 - 专为大型样品设计，孔径达 235 毫米 - 重复精度高达 1 µm，负载能力为 5 kg - 采用无间隙滚珠丝杠 1214，实现理想的力传输 - 优化的性价比，精确的操作参数 该校准器可实现平面内 15 毫米的二次平移和垂直方向上最大 ± 5 度的旋转。运动 R (Phi) 来自 XY 组合。 规格 - 标准组件：LA85 (XYRz) - 行程：± 15 毫米（XY）/± 5 毫米（Z） - 重复性：± 1.6 - ± 2.1 µm (XY) / ± 0.001 - ± 0.002 µm (Rz) - 定位速度：30 - 60 mm/s (XY) / 15 - 30 mm/s (Rz) - 最大负载250 N (XYRz) - 电机旋转电机，Kugelgewindetrieb - 反馈：开环 定制选项： - 适应工艺：孔径、支架、进料器、传感器 - 无尘室 ISO 14644-1 配置（根据要求可达到 1 级） - 带机架、隔振装置和外壳的个性化设计 - 针对定位任务进行 3D 设计的个性化解决方案开发