XZ定位系统 782300:186.26

双轴线性用于检测晶片和计量

XZ Labor- und Waferinspektion 系统 可定制： - 是设置和扩展应用的理想之选 - 重复精度高达 0.4 µm - 在 50 mm/s 的相对较高定位速度下，步距最小，可靠性最高 - ± 1 的完美平面度，可定位 5 公斤以下的中等载荷 XZ 组合包括 PMT160 的高精度和耐用标准线性轴。该组合适用于所有要求完美平面度、最小俯仰和偏航公差以及平稳运行的应用。 规格 - 标准组件：PMT160-DC (XZ) - 行程：300 毫米（X）/ 100 毫米（Z） - 重复性：± 0.4 - ± 2.2 µm (XZ) - 定位速度：25 mm/s (X) / 1.12 mm/s (Z) - 最大负载45 n (X) / 150 n (Z) - 电机直流电机，滚珠丝杠 - 反馈： 线性刻度线性刻度 定制选项： - 每个轴的不同行程为 50 - 300 毫米 - 与 DT130 或 DT200 结合使用的旋转运动 - 各种电机类型：直流电机、步进电机、直线电机和纳米电机 - 通过预配置控制器（包括示例软件）可立即使用 - 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号