XYZ轴定位系统 782300:193.26线性用于检测晶片和计量质量控制
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产品规格型号
- 轴数量
- XYZ轴
- 构造
- 线性
- 应用
- 用于检测晶片和计量, 质量控制
- 其他特性
- 滚珠丝杠, 直流电动机, 高解析度
- 重复精度
最少: 0.3 µm
最多: 1.7 µm
- 运行行程
最少: 100 mm
(3.94 in)最多: 300 mm
(11.81 in)- 传送速度
25 mm/s
产品介绍
用于检验和质量控制的 XYZ 系统
可定制：
- 极高的跳动精度和重复精度，可达 0.3 µm
- 使用经济高效的驱动装置，可定位高达 150 N 的负载
- 最高 50 mm/s 的高速度
- 将随机误差降至最低
- 易于集成，可与现有的摄像系统和传感器灵活组合
定位系统可沿三个线性轴定位。在该装置中，PMT160 线性平台通过转接支架安装在 KT470 十字工作台上。通过使用交叉滚轮，直线度和平面度的跳动误差很小。
规格
- 行程：300 毫米（XY）/ 100 毫米（Z）
- 重复精度：± 0.3 - ± 1.7 µm（XYZ）
- 定位速度：25 毫米/秒（XY）
- 最大载荷45 n (X) / 150 n (YZ)
- 电机直流电机
- 反馈： 线性刻度线性刻度
定制选项：
- Z 轴的不同行程为 50 - 300 毫米
- 各种电机型号：直流电机或步进电机
- 可立即使用预配置的控制器（包括示例软件
- 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号
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