单轴定位系统 782300:212.26

旋转用于检测晶片和计量半导体工业

用于光学透镜、圆柱体定位的 X Phi 系统 可定制： - 圆形部件（如晶片、光学元件）光学测量的理想选择 - 通过高精度的行程旋转运动，节省了额外购买加载轴的费用 - 重复精度高达 0.0017 - 通过 X 精确移动 1.9 µm 至测量位置 该 X-Phi 定位系统由高精度、耐用的 PMT160 线性平台标准轴和 DTS130-HM 旋转轴组成。它非常适用于将试样精确移动到测量位置的测量应用，因此无需额外的进给轴。 规格 - 标准系统：PMT160-DC (X) / DTS130 (Phi (Rz)) - 行程：135 毫米 (X) / n x 360 毫米 (Phi (Rz)) - 重复性：± 1.9 - ± 2.4 µm (X) / ± 0.0017 - ± 0.005 µm (Phi (Rz)) - 定位速度：10 mm/s (X) / 50 mm/s (Phi (Rz)) - 最大负载150 N (X) / 74 N (Phi (Rz)) - 电机直流电机，滚珠丝杠 (XZ) / 交流伺服 (Phi (Rz)) - 反馈：线性刻度 (XZ) / 角度刻度 (Phi (Rz)) 可定制： - 最大行程 300 毫米 - 底板由花岗岩或铝制成 - 可提供内部刻度（270 毫米） - 可与 DT200 等其他旋转平台组合使用 - 可提供适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号 - 通过预配置的控制器（包括示例软件）可立即使用