XZ-Phi 系统
可定制:
- 安装高精度测量系统的理想选择
- 亚微米范围内的测量系统分辨率可达 0.1 µm / 0.0001°
- 高精度重复性可达 0.3 µm
- 最精细的旋转运动可达 0.001°
- 维护成本低,使用寿命极长
该 X-Z-Phi 多轴定位系统由高精度和耐用的标准轴(PMT160-300-EDLM、MT130-50-DC、DT170-TM)组成,可理想地组合成高精度测量装置。对于水平运动,PMT160-300-EDLM 除了定位速度高之外,还能实现亚微米级的最小步距。
规格
- 标准系统:PMT160-DC (X) / MT130-DC (Z) / DT165-TM (Phi (Rz))
- 行程:260 mm (X) / 50 mm (Z) / 360 mm (Phi (Rz))
- 重复性:± 0.3 - ± 0.4 µm (X) / ± 2.5 - ± 4.5 µm (Z) / ± 0.001 - ± 0.005 µm (Phi (Rz))
- 定位速度:200 mm/s (X) / 50 mm/s (Z) / 60 mm/s (Phi (Rz))
- 最大载荷14 N (X) / 95 N (Z) / 100 N (Phi (Rz))
- 电机无铁动态线性电机,直流电机(XZ)/力矩电机(Phi (Rz)
- 反馈:线性刻度 (XZ) / 角度刻度 (Phi (Rz))
定制选项:
- 不同的电机类型:直流电机、步进电机、直线电机和纳米电机
- 通过预配置控制器(包括示例软件)可立即使用
- 适用于 ISO 14644-1 洁净室的版本
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