用于高分辨率的 XYZ 显微镜和检测站
可定制:
- 样品检测的理想选择
- 重复精度高达 0.3 µm
- 将测量偏差降至 3 µm 以下
该 3 轴定位系统专为高精度计量应用而设计,在该应用中,平台在 Z 轴上将待测物体移动到传感器或照相机上。xy 平台由可靠的 KT310 和直流电机组成。
规格
- 行程:200 毫米(XY)/ 200 毫米(Z)
- 重复精度: ± 0.3 - ± 0.7 µm (XY)
- 定位速度:25 毫米/秒(XY)/15 毫米/秒(Z)
- 最大负载 Fx/ Fy:45 N (XY)
- 最大负载 Fz:110 N (XY) / 150 N (Z)
- 电机直流电机,滚珠丝杠(XY)/手动
- 反馈线性刻度
定制选项:
- 各种行程可达 200 毫米
- 带/不带花岗岩底座
- 带/不带减震器
- 步进电机、直流电机和各种分辨率的测量系统
- 电动 Z 轴,例如 MT130 或 PMT 160
- 与 DT200 结合使用的旋转运动
- 适用于 ISO 14644-1 无尘室的型号(根据要求可达 1 级)
- 通过预配置的控制器(包括样本软件)实现即用型控制
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