用于高精度自动光学检测的 XYZ 定位系统
可定制:
- 高精度自动化检测过程的理想选择
- 重复精度高达 0.3 µm
- 测量误差降至 3 µm 以下
这种三轴定位系统是专为高精度测量应用而开发的,在这种情况下,XY 平台将被测物体移动到 Z 轴上的传感器或照相机时,俯仰和偏航误差极小。例如,在测量部件或记录三维轮廓(即使是高部件)时就是如此。
规格
- 标准系统:KT310-DC (XY) / PMT160-DC (Z)
- 行程:200 毫米(XY)/ 50 毫米(Z)
- 重复性:± 0.5 - ± 0.7 µm (XY) / ± 0.3 - ± 2.4 µm (Z)
- 定位速度:30 毫米/秒(XYZ)
- 最大载荷110 n (XY) / 30 n (Z)
- 电机直流电机,滚珠丝杠(XYZ)
- 反馈: 线性刻度线性刻度
定制选项:
- 行程可达 150 毫米
- 可选择不同的测量系统分辨率
- 与 DT200 结合使用的旋转运动
- 与平面度无关的界面以及调整选项
- 不同的电机类型:直流电机或步进电机
- 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号
- 预配置控制器的即用型控制,包括样本软件
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