用于可变负载和移动负载的 XYZ 测量系统
可定制:
- 工件测量或捕捉高工件三维轮廓的理想之选
- 不受载荷影响的高精度测量,即使是移动物体也能达到 ± 1 µm
- 测量误差大幅降低至 5 µrad 以下
- 完美的直线度为 ± 0.5 µm,平面度为 ± 1 µm
- 独立于平面度的接口和调整可能性
该 XYZ 定位系统专为高精度测量可变载荷和移动物体而设计。如果需要连续测量不同重量级别的物体,传统的测量平台很快就会达到极限。
规格
- 行程:200 毫米(XY)/ 100 毫米(Z)
- 重复性:± 0.3 - ± 0.4 µm (XYZ)
- 定位速度:20 毫米/秒(XY)/30 毫米/秒(Z)
- 最大负载45 n (XY) / 150 n (Z)
- 电机直流电机,交叉滚子轴承(XYZ)
- 反馈线性刻度
定制选项:
- 不同的电机类型:直流电机或步进电机
- 与 DT130 或 DT200 结合使用的旋转运动
- 用于生物技术、医疗技术、制药、半导体的特殊配置
- 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号(根据要求可达到 1 级)
- 可与预配置控制器(包括示例软件)配合使用
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