XYZ轴定位系统 782300:179.26

门式半导体工业用于无菌室

带真空吸盘的 XXL XYZ 传送门 可定制： - 适用于焦点变化的自动化表面检测 - 设计用于重量达 50 公斤的样品（不包括真空平台） - 被动减震和建筑振动去耦合（标准测量室质量等级 3，符合 VDI 2627 标准） - 超长使用寿命（1,000,000 次全循环和 500,000 次全循环的维护间隔（每两年一次 该定位系统可在 1000 x 1000 mm 的范围内移动真空吸盘。标准系统 PMT160-SM 固定在横向轴上，用于客户定制的传感器，该传感器用于焦距变化。轴是全封闭的，可防止污染和干扰。 规格 - 标准系统：PLT320-SM（XY）/PMT160-SM（Z） - 行程：1000 毫米（XY）/ 100 毫米（Z） - 重复性：± 3.9 - ± 4.4 µm (XY) / ± 1.9 - ± 2.4 µm (Z) - 定位速度：30 毫米/秒（XY）/10 毫米/秒（Z） - 最大载荷490 N (XY) / 40 N (F) / ± 45 N (Z) - 电机步进电机（XYZ） - 导轨： 滚珠丝杠（XYZ滚珠丝杠（XYZ） - 导轨轮廓导轨（XY）/交叉滚子轴承（Z） - 反馈：开环 (XYZ) - 长 x 宽 x 高：2250 x 1500 x 1500 毫米 定制选项： - 配备线性光栅尺，精度可达 0.3 µm - 模块化系统配置 - 安全柜 - 用于半导体、生物技术和制药的特殊配置 - 适用于 ISO 14644-1 洁净室的型号（根据要求可达到 1 级） - 预配置控制器的即用型运动控制，包括样本软件 - 利用 3D 设计为定位任务开发个性化解决方案