XYZ轴定位系统 782300:222.26

门式用于检测晶片和计量带步进马达

可定制： - 是对最大 650 x 650 毫米的大型样品进行表面检测和涂层厚度测量的理想之选 - 精确测量，重复精度高达 2 微米 - 采用步进电机驱动，性价比高 - 坚固耐用的 Z 轴，适用于重达 20 公斤的传感器 - 适用于灰尘、烟雾等工业环境 该检测系统专为 50 公斤以下大型扁平试样的自动质量控制而设计。该定位系统占地面积非常小，可同时在 Z 轴上定位传感器和 XY 轴上定位试样。 规格 - 标准组件：PLT240-SM (X) / PLT165-SM (Y) / PLT165-Manuell (Z) - 行程：650 毫米（XY）/ 100 毫米（Z） - 重复性：± 3.9 - ± 4.4 µm (XYZ) - 速度： 5 毫米/秒（XYZ） - 最大载荷300 n (X)、1000 n (Y) / 160 n (Z) - 驱动步进电机（XY） | 手动（Z） - 反馈： - 开环 (XY) 定制选项： - 各种行程可达 1000 毫米 - 带/不带花岗岩或铝制框架和底板 - 型号 ISO 14644-1（可根据要求达到 1 级），例如带外壳和排气系统 - 电缆布线的个性化解决方案 - 通过阻尼橡胶层或气动阻尼器去耦减振 - 通过预配置的控制器（包括示例软件）可立即使用