XYZ轴定位系统 782430:002.26

门式线性电机驱动电机伺服

可定制： - 晶片、探针卡和印刷电路板自动检测的理想之选 - 通过长达 720 毫米的行程同时检测多个物体 - 同时整合两个过程的理想选择 - 花岗岩结构可快速更换系统，因此可实现全天候低维护运行和灵活的维护理念 该检测系统由四个洁净室轴组成，可同时对多个物体进行自动测量。可实现高动态和最高的再现性。高分辨率相机或传感器相对于样品移动，以检测几何形状、执行测量并记录特殊质量特征。 规格 - 标准配置：pmt290-edlm (XY) - 行程：720 毫米（XY）/ 100 毫米（Z） - 重复性：± 0.3 - ± 0.7 µm (XY) / ± 1.5 - ± 2.5 µm (Z) - 速度：750 毫米/秒（XY）/150 毫米/秒（Z） - 最大负载150 N (XY) / ± 200 N (Z) - 最大样品尺寸[Ø] 12 英寸 / 300 毫米 - 长 x 宽 x 高： 1230 x 1200 x 1030 毫米 - 驱动装置无铁动态直线电机（XY） | 交流伺服，滚珠丝杠（Z） - 反馈：直线光栅尺（XY） | 电机编码器（Z） - 无尘室类型：最高 ISO 2 级 定制选项： - 无尘室适用性：无尘室 ISO 14644-1 2 级（根据要求可达 1 级） - 排气和旋转皮带盖连接 - 也可提供单门 - 即用型控制系统，带预配置控制器，包括样品软件也可作为单入口提供